自動(dòng)刻線殘留量檢測儀（以TorusZ606為例）的測量方法主要包含以下步驟：
設(shè)備初始化與校準(zhǔn)
啟動(dòng)設(shè)備后，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行傳感器校準(zhǔn)和機(jī)械定位自檢。通過智能機(jī)器視覺系統(tǒng)識(shí)別易開蓋端部方向，精確定位刻線測量位置，確保每次測試的基準(zhǔn)一致性。
樣品裝載
利用電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)裝載機(jī)完成樣品放置，支持7個(gè)可配置堆棧，每個(gè)堆棧容納48個(gè)易開蓋組件。系統(tǒng)自動(dòng)識(shí)別樣品尺寸和加工階段，適應(yīng)不同規(guī)格的易開蓋檢測需求。
3D掃描測量
采用專有3D掃描白光干涉?zhèn)鞲衅?，每次掃描采?30萬個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，生成完整的刻線3D地圖。通過亞微米級(jí)分辨率解析刻線上下表面結(jié)構(gòu)，測量平均殘留量、最大殘留量和最小殘留量，精度達(dá)±1微米，重復(fù)性保持在2微米以內(nèi)。
數(shù)據(jù)采集與處理
智能機(jī)器視覺系統(tǒng)自動(dòng)捕捉刻線輪廓，結(jié)合傳感器數(shù)據(jù)生成高精度3D模型。系統(tǒng)實(shí)時(shí)分析刻線殘留量分布，通過算法過濾表面噪聲，提取關(guān)鍵尺寸參數(shù)。
結(jié)果輸出與反饋
測試結(jié)果通過模擬顯示屏實(shí)時(shí)反饋，直觀顯示產(chǎn)品是否合格。系統(tǒng)生成截面圖表分析刻線輪廓變化趨勢，支持3D數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，便于深入研究和工藝改進(jìn)。
自動(dòng)化清洗與循環(huán)
檢測完成后，設(shè)備自動(dòng)清潔傳感器和裝載機(jī)構(gòu)，避免交叉污染。系統(tǒng)支持快速循環(huán)檢測，單次檢測循環(huán)時(shí)間較短，可連續(xù)完成多個(gè)樣品測試。
